日期:2025-07-09 09:22:17
半导体 er 们,二手 YES-5 OVEN 快退加热设备来啦!这可是行业内处理材料热处理的得力助手哦。
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超快加热速度
:采用先进的红外(IR)加热技术,能在短时间内实现快速升温,升温速率最高可达 200℃/s,极大缩短了工艺时间,提升生产效率。像一些对时间敏感的半导体材料退火工艺,它能迅速将温度提升到目标值,精准把控时间节点。
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精准温度控制
:温度控制精度可达 ±1℃,通过精密的温控系统和多区温度监测,确保炉内温度均匀性。在 6 寸晶圆处理中,温度均一性可维持在 ±2℃以内,保证每一片晶圆都能在稳定、精准的温度环境下完成热处理,保障产品质量的一致性。
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灵活工艺适配
:支持多种半导体工艺,如去氢退火、活化退火、金属退火等。可根据不同工艺需求,灵活调整加热温度、时间以及气体氛围(如 N₂、O₂等气体流量可精确控制)。无论是硅基芯片制造,还是化合物半导体加工,都能完美适配,满足多样化生产要求。
✅ 智能操作界面:配备直观的人机交互界面,操作简单易懂。工艺参数设置、实时温度监控、设备状态查看等功能一应俱全,还支持预设多种常用工艺程序,一键启动,新手也能快速上手操作,维护起来也十分便捷。
二手 YES-5 OVEN 快退加热设备凭借其高效、精准的性能,在半导体热处理领域表现出色,性价比超高,有相关需求的宝子们别错过!
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